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为什么22nm以上做不出来

热度:5894   发布时间:2013-02-26 00:00:00.0
为什么22nm以下做不出来?
rt
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不是做不出来,正在研究。
主要是22nm已经接近原子直径的量级,很多量子效应导致制造出的器件特性差异很大,产出率较低。
另外第一层金属导线的宽度已小于半波长,实际生成导线和掩膜更加难以补偿。
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