CogPathInspectTool工具的原理是将输入图像中某一区域的特征与预先训练的模型特征进行比较，然后将两者之间的偏侧高度显示，输出图像中的高亮部分即为输入图像中的缺陷。
CogPatInspectTool工具一般和CogPMAlignTool工具、CogFixture工具、CogBlobTool工具配合使用来完成工作。