为什么22nm以上做不出来

为什么22nm以下做不出来？
rt
------解决方案--------------------------------------------------------
不是做不出来，正在研究。
主要是22nm已经接近原子直径的量级，很多量子效应导致制造出的器件特性差异很大，产出率较低。
另外第一层金属导线的宽度已小于半波长，实际生成导线和掩膜更加难以补偿。